資料圖：電子級多晶硅

純度要求達到99．999999999％的電子級多晶硅終于量產。記者6日從江蘇鑫華半導體材料科技有限公司獲悉，經過一系列嚴格驗證、檢測，近日一批集成電路用高純度硅料出口韓國，同時也向國內部分晶圓加工廠批量供貨。這標志著我國半導體集成電路用硅料已經達到國際一流質量標準，也是我國多晶硅制造企業(yè)首次向國際市場出口集成電路用高純度硅料。

電子級多晶硅材料是集成電路的關鍵基礎材料，過去中國市場上的集成電路用多晶硅材料基本完全依賴進口。電子級多晶硅是純度最高的多晶硅材料。相對于太陽能級多晶硅99．9999％純度，電子級多晶硅的純度要求達到99．999999999％。5000噸的電子級多晶硅中總的雜質含量相當于一枚1元硬幣的重量。

2015年12月，鑫華半導體由國家集成電路產業(yè)投資基金聯手保利協(xié)鑫共同投資，建設國內首條5000噸半導體集成電路專用電子級多晶硅生產線。去年11月8日，協(xié)鑫旗下鑫華半導體正式發(fā)布電子級多晶硅產品。

目前，該電子級多晶硅已通過客戶驗證并形成規(guī)模化銷售，打破長期以來國外高純度材料壟斷，填補該產業(yè)國內技術空白。鑫華半導體公司第一條生產線的產能為5000噸，可保證國內企業(yè)3至5年內電子級多晶硅不會缺貨，產品質量滿足40nm及以下極大規(guī)模集成電路用12英寸單晶制造需求。同時，還將規(guī)劃再上一條5000噸生產線，以更好地滿足國際國內市場。